杂交泵是旋片泵与抗化学腐蚀隔膜泵的组合体。它通过抗化学腐蚀的隔膜泵吸出滞留在旋片泵内的气体，使腐蚀性气体在旋片泵内的时间和数量大幅减少，进而大幅提高旋片泵的使用寿命，同时保留旋片泵制造的高真空。
杂交泵的主要特点是：
★ 抗化学腐蚀能力强，适用于抽化学活性强的气体和蒸汽
★ 耐蒸汽能力强，适用于在抽排过程中会产生大量蒸汽的场合
★ 配有减压阀，确保杂交泵的使用安全
★ 配有油腔气泡装置，增大油的表面积，更快地释放出油内的残留物质
★ 配有液气分离瓶，截留冷凝的液体
★ 旋片泵的极限真空能力不受影响，并大幅延长其使用寿命和维护间隔
★ 只用一个开关可同时开启和关闭杂交泵
型号
电压
最终压力
mbar
抽吸速度m3/h l/min
重量(kg)
价格
编号
Chemvac
P6Z-101(6Dp-101)
230V 50Hz
<2×10-3
5.8
96.0
25.5
0
109023
P12Z-301(12D-101)
11.0
183.0
42.5
109024
chemvac
P23Z-301(23D-101)
21.0
350.0
46.0
109025