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  • 产品名称：KW-4Q-I匀胶机

  • 产品型号：
  • 产品厂商：其它品牌
  • 产品价格：400000
  • 折扣价格：0
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简单介绍：
包含4Q-I匀胶机、无油泵一台，3个片托（吸盘） 基片尺寸：200-300mm；转速范围：50-6000rpm。带摆臂，支持滴胶显影，支持EBR功能。
详情介绍：

主要参数

  • 支持12英寸硅晶圆的旋涂工艺；
  • 樶高转速可达6000转/分；
  • 加速功能：10–1000 RPM/秒，可调；
  • 具备蓝牙通讯功能，支持标准485/Modbus通信方式，并配有支持远程通讯的软件，支持蓝牙通信；
  • 带防飞片保护与报警；
  • 带防进胶保护与报警；
  • 电机可正反转；
  • 带摆臂，支持滴胶显影，支持EBR功能。

匀胶机参数 (KW-4Q-I)

带摆臂功能 是
带EBR功能 是
基片尺寸 200–300 mm（12英寸）
转速范围 50–6000 RPM
加速度范围 10–1000 RPM/S，可调
转速稳定性 ±1 RPM
涂胶均匀性 ±0.1%
人机界面 8英寸触摸屏
通信接口 USB（标配）/ RS485（标配）/ 蓝牙（选配）
旋转方向 支持正反转
触控笔 BAMBOO触控笔
真空泵 SC-550V
设置数据 限组数据，每组15段转速
每段时间 0–10000 秒
存储数据 无限数据
数据保护 带掉电保护功能
工作电压（匀胶机） AC 100–250V，单相，50/60 Hz
工作电压（泵） AC 220V（标准）；AC 110V（可选）
泵的抽速 ≥ 60 L/MIN
樶大真空度 -85 KPA
噪音 ≤ 55 dB
设备功率（匀胶机） 2 KW
设备功率（泵） 350 W
设备尺寸（匀胶机） 550 mm (W) × 550 mm (D) × 350 mm (H)
设备重量（匀胶机） 50 KG
设备重量（泵） 9 KG
相对湿度 < 85%
环境温度 0–40 ℃
质保期 1 年
核心优势：在KW-4Q基础上新增摆臂滴胶显影与EBR边缘去边功能，并配备防飞片/防进胶双重保护与报警；保留12英寸晶圆适配能力、±0.1%高均匀性及蓝牙/RS485远程通讯，支持正反转与无限数据存储，满足大尺寸晶圆涂胶显影一体化的高 端工艺需求。
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