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  • 产品名称：BTF-1200C-III Φ60mm 三温区管式 CVD 设备

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简单介绍：
BTF-1200C-III Φ60mm 三温区管式 CVD 设备
详情介绍：

BTF-1200C-III Φ60mm 三温区管式 CVD 设备  ￥122300


一、高温管式炉：
1.品牌：贝意克
2.型号：BTF-1200C-III Φ60mm
3.结构：开启式
4.*高温度：1200℃ 工作温度达 1100℃，主动性炉壳冷却降低炉表温度
5. 额定功率：7KW；额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/6
6.加热元件：电阻丝
7.智能化 30 段可编程控
8.炉管尺寸：高纯石英管Φ60*1400mm，加热区长度：300+300+300mm，恒温区长度：500mm 二、路供气系
1.工作电压：185~245V，50 Hz；*大输出功率：18W
2.流量计标准量程：甲烷 20sccm；氢气 200sccm；氩气 1000sccm、（气体及量程可选）
3.工作压差：0.1~0.5Mpa；*大压力：3Mpa；准确度：±1.5%F.S
4.压力表测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
5.针阀：316 不锈钢
6.混气罐：Φ80*120mm
7.截止阀：Φ6.35mm
三、真空系统
1.VAU-02 低真空机组，内部安装 DRV-10 机械泵 1 台，进口真空计 1 套（型号 PCG550
英福康 INFICON），并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。设备冷态极限真空可达 0.5Pa 四、压力控制系统
1.压力控制系统的控压范围：100Pa~100KPa
2.电容真空计品牌：成都正华；控制精度：测量值±5%
五、安装要求
将管式炉、供气系统、恒压系统组装成一套完整CVD材料生长设备，并正常运行。

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