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RHTC 80/230/16真空摩擦磨损试验机-1600℃加热炉 ¥189000
一、高温管式炉:
1.品牌:纳博热
2.型号:RHTC 80/230/16 型管式炉
3.结构:不开启式
4.*高温度:1600℃ 工作温度达 1500℃,主动性炉壳冷却降低炉表温度
5.陶瓷工作管 C799:φ80*600mm 包括 2 个纤维塞头,用于在空气环境下运行,包括一个备用陶瓷工作管
6.热电偶类型:S 型热电偶 加热元件:碳化硅加热元件,易于更换
7.加热区长度:230mm 恒温区长度:120mm
8.外形尺寸:600 x 440 x 585mm 电气:3 相电,7.4KW
9.重量:55kg
二、路供气系
1. 流量计品牌:Horiba,S48-32
2.流量计标准量程:甲烷 20sccm 氢气 200sccm 氩气 1000sccm
3.准确度:±1.0%F.S 工作温度:4~45℃ 工作压差:0.1~0.5Mpa *大压力:3Mpa 压力表测量范围:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) 针阀:316 不锈钢 混气罐:Φ80*120mm 双卡套接头尺寸:Φ6.35mm 外形尺寸:600*600*600mm
三、真空系统
1.真空泵品牌:莱宝
2.型号:D16C 抽速:16m3 /h
3.抽气口尺寸:KF25 排气口尺寸:KF25
4.复合变送器品牌:成都睿宝 型号:RBF-2YZv01,KF16 特点:该压阻电阻复合**压力变送器在同一管体上, 集成安装了压阻规、电阻规两种压力检测传感器,对同 一检测腔体的压力进行检测。 通过自动切换,充分发挥各自优点,实现 0.5Pa~1.0 ×10 5Pa 整个范围的准确测量,且 1.0×10 3~1.0×10 5Pa 之间的测量气体成分无关。
5. 复合变送器品牌:成都睿宝 型号:VGC-EV01
四、安装要求
将管式炉、供气系统、真空系统组装成一套完整CVD材料生长设备,并正常运行。