产品名称：PECVD 系统（带滑轨）管式炉

PECVD 系统（带滑轨）管式炉   ￥253000

1：▲ 电源：AC220V/50HZ
· 功率：3.0KW
· 加热区长度：200mm
· *高温度：1200 度(≤30min）
· 工作温度：1100 度
· 热电偶：K 型
· 智能化仪表，PID 控制，30 段程序控温
· 炉体可滑动位移：600mm
· 炉管尺寸： φ60*1400mm
2：▲射频电源·功率输出范围：0-500W ·功率稳定度：≤±5W ·射频频率：13.56MHZ
·自动匹配
·噪音：≤50dB
·冷却方式：风冷
3* ·标配一套不锈钢真空法兰
·进气端法兰上安装了一个机械压力表用于观察炉管内的压力，压力表范围-0.1-0.15MPa；一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用，并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断；·出气端法兰包含一个φ8mm宝塔气嘴的出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断。一个KF25接口为抽真空接口，用于连接真空系统。一个KF16的接口用于连接电阻真空计。
4▲真空系统• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz，压力恒定控制系统
5• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)：
760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照进气量为 500sccm）；
600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为 300sccm）
300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为 100sccm）
180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为 50sccm7
6、 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40）
＞10 torr------200torr（±%5）
7、4路供气系统，量程为甲烷 20 氢气 200 氩气 1000，备用的用氮气调500氮气标定精度：±1.5%FS；线性：±(0.5～1.5)%F.S. 重复精度：±0.2%F.S
8、*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少5米 质保期 一年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，中标后3天内供货，24小时内上门安装培训；质保期1年；供货商出具厂家盖章售后承诺函； 配置：高温炉1台；测温偶1根；炉管1根；高温手套1副；管堵4个;内六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法兰Φ60 1套 ，硅胶密封圈 内径Φ53,8个；炉管护套1副；法兰Φ60一套 ，质子系统1台；恒压控制系统 1台；说明书1本。