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VTC-100PA-UV紫外光旋转涂膜机、匀胶机 ¥31200
产品介绍
VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺。该机腔体采用聚丙烯材质,耐腐蚀且使用寿命长,可用于强酸、强碱溶液的涂覆。本机上盖具有紫外灯光照射的功能,尤其适用于对紫外光敏感的胶体,可使涂覆后的胶体迅速固化;此外紫外灯还具有聚合作用,可以把单体聚合成聚合物膜。上盖中心位置为注液孔,注液孔配有胶塞,当腔体需要密闭的环境时应将胶塞堵好。腔体带有进气孔,可在匀胶过程中对腔体通保护气。样件采用真空吸附方式进行固定,操作简单,使样件取放自如。配用专用定心工具可使样件很容易放在吸盘中心位置,以减少偏心带来的震动,避免造成飞片。根据样件的大小可以选择不同规格的吸盘,吸盘更换简单方便。本机使用精密直流无刷电机,启动快、速度稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
主要特点
1、采用真空吸盘固定样件,样件固定牢固且取放简单方便;真空吸盘大小可根据需要进行定制。
2、该机上盖具有紫外灯光照射的功能,紫外光的强度可以在一定范围内进行调整。
3、本机上盖中心位置为注液孔,注液孔配有注液孔塞,当腔体需要密闭环境时可使用该孔塞将孔密闭。
4、该机带有保护气接孔,可对腔体通保护气。
5、电机部分、紫外灯光控制部分分别使用独立的电源进行控制。电机调速系统采用单板机+液晶显示屏进行控制,数值显示更直观可靠;紫光灯采用抗干扰性强的PLC控制器进行控制。
6、本机涂层速度为500-1000RPM,可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段,每段运行参数可独立设置,可使设备缓慢提升速度至极限速度,有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜,且不会过多浪费,节约材料。
7、紫光灯真空旋转涂膜机启动快速、转数稳定,可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。
8、在安装结构上,采取了减震措施,降低运转时的噪音。
9、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。
安装条件
1、温湿度:10-85%RH (at 25℃ 无凝露) 温度: 0-45℃。
2、设备周围无强烈震源和腐蚀气体。
3、水:无需要
4、电:单相:AC220V 50Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地
5、气:真空负压(真空泵) 抽气流量不小于 70L/M(设备可通保护惰性气体)
6、工作台:建议 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固体水泥台樶佳)
7、通风装置:无特殊要求
主要参数
1、供电接口:带保险电源插座:AC220V 50Hz 保险管规格为 10A、φ5×20mm(此设备支持 AC110V 50/60Hz 产品定制)
2、总功率:≤180W(不含外接真空泵)
3、涂膜主机腔体(材质):聚丙烯
4、载样盘(吸盘):聚丙烯吸盘Φ19mm 、Φ60mm 各一个
5、运行方式:可储存 12 组程序,每组程序包含 6 个运行阶段
6、涂膜转速:500rpm-10000rpm 有效
7、增减速率:每段增减速率设置范围:100 rpm —2000 rpm
8、涂膜时间:每段时间范围:0-60s
9、转速稳定性:±1%
10、主机控制方式:PCB 单片机 按键控制 LMC 液晶显示屏
11、固化方式:LED 紫光灯珠 16 只
12、固化时间:紫光灯时间设置范围:1-800s
13、固化功率:紫光灯功率范围:5-30W 可调
14、固化控制方式:触摸屏(独立控制紫光灯系统,与主机控制无关联)
15、产品规格---外形尺寸:450×280×340mm,重量:18Kg
标准配件
真空吸盘(φ19 mm和φ60 mm)2件
中心定位器 1个
无油真空泵 1台
可选配件
其它尺寸的真空吸盘
国产移液枪
进口移液枪