产品名称：化学气相沉积CVD系统管式炉

TF-1700X-60*CVD化学气相沉积CVD系统管式炉  ￥116000

1、▲ *高使用温度：1700℃（≤0.5h）
·额定使用温度：1650℃ 建议升温速率：1400℃以下：≤10℃/min ；1400℃到 1600℃：≤5℃
/min；1600℃以后：≤2℃/min。 额定电压：AC220V 50/60HZ 额定功率：5.5KW 炉腔尺寸：290mm * 220mm * 160mm
4* 配置不少于1对 ss304 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封
5▲真空系统• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz，压力恒定控制系统
6• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)：
760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照进气量为 500sccm）；
600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为 300sccm）
300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为 100sccm）
180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为 50sccm）
7、压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40）
＞10 torr------200torr（±%5）
8、4路供气系统，量程为甲烷 20 氢气 200 氩气 1000，备用的用氮气调500氮气标定精度：±1.5%FS；线性：±(0.5～1.5)%F.S. 重复精度：±0.2%F.S
9、*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少5米 质保期 一年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，7天内供货，24小时内上门安装培训；质保期1年；
配置：高温炉1台；测温偶1根；炉管1根；高温手套1副；管堵4个;炉钩L：1000mm 1把 ;;内六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;硅胶密封圈 内径Φ50,8个；炉管护套1副；法兰Φ60一套 ，质子系统1台；恒压控制系统 1台 水机冷机1套 。说明书1本。