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  • 产品名称：气相沉积系统CVD管式炉

  • 产品型号：TF-1700X-III-80*CVD
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
TF-1700X-III-80*CVD气相沉积系统CVD管式炉
详情介绍：

TF-1700X-III-80*CVD气相沉积系统CVD管式炉  ￥145000


1：▲ *高温度：1700℃（＜1h）
温区 1: 长期 1300C (1400C<1h)
建议升温速率: ≤5Cmin
温区 2:长期 1600C(1700C<1h)
( T< 1600c); 2C/ min ( T>1600C)温区3:长期 1300C (1400C<1h)
建议升温速率:5°C/ min
建议升温速率:≤5C 加热区长度: 630mm (三温区: 190mm+250mm+190mm),热偶: B型(温区 2) 和S型(温区 1、3) 热偶,电源:三相 AC380V，50Hz.*大10KW
4* 配置不少于1对 ss304 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封
5▲真空系统• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz，压力恒定控制系统
6• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)：
760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照进气量为 500sccm）；
600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为 300sccm）
300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为 100sccm）
180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为 50sccm7
9 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40）
＞10 torr------200torr（±%5）
8；4路供气系统，量程为甲烷 20 氢气 200 氩气 1000，备用的用氮气调500氮气标定精度：±1.5%FS；线性：±(0.5～1.5)%F.S. 重复精度：±0.2%F.S
9；*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少5米 质保期 一年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，7天内供货，24小时内上门安装培训；质保期1年；
配置：高温炉1台；测温偶3根；炉管1根；高温手套1副；管堵4个;炉钩L：1000mm 1把 ;;内六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法兰Φ80 1套 ，硅胶密封圈 内径Φ70,8个；炉管护套1副；法兰Φ60一套 ，质子系统1台；恒压控制系统 1台 水机冷机1套 。说明书1本。

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