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  • 产品名称:实验平台ICP-介质特气管改管,湿法间增加废液排风二次配工程

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实验平台ICP-介质特气管改管,湿法间增加废液排风二次配工程
详情介绍:

实验平台ICP-介质特气管改管,湿法间增加废液排风二次配工程    ¥66800


1、增加实验平台ICP-介质设备管线改造,增加流体控制盘面,改造Ar/O2/CF4/CHF3/He/SF6管路(SUS316L-EP),VCR接头,定制镜面板,各路气体增加二级减压阀,膜片截止阀,机械压力显示
2、增加终端流体盘面,改造GN2/CDA(SUS316L-BA),各路气体增加二级减压阀,高精度压力表,截止阀
3、湿法间增加废液排风,阻燃防腐与原风管对接
4、供应商需提供改造气路及装置的安装、校准工作
5、供应商需出具设计方案,包括但不限以下内容:控制方式、材料清单、设计施工图、**保护措施。以上计算结果需提供计算依据。
6、配套安装 线缆、支架、标识、特气管路、阀门、控制软件,满足正常施工及使用即可。

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