产品详情
  • 产品名称:光发射谱终点检测装置

  • 产品型号:SI 500-OES
  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
SI 500-OES光发射谱终点检测装置
详情介绍:

SI 500-OES光发射谱终点检测装置 ¥221800


光发射谱终点检测装置

系统包括:
光发射谱仪
光纤,长度 1 米
光纤准直件
石英/蓝宝石窗口
连接窗口的适配器
光谱仪软件
SENTECH 等离子工艺操控软件的 OES 附件组件


指标:
光纤连接器:600µm SMA 905 connector
汇聚透镜:Quartz
波长范围:200 nm … 1100 nm
模/数转换器:16bit
光谱分辨率:depends on wavelength (grating type), typically ~ 1 nm
探测器类型:CMOS linear array, 2048 pixels
集成时间: 1.11 ms -10 min, typically 10 - 100 ms
计算机接口: USB
数据传输速率:1.8ms/scan (USB2.0)

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