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CMI-500镀膜机 ¥445000
1. 真空室工作尺寸:500×500×680(宽×深×高)mm;
2. 极限压力:≤1×10-6Pa;
3. 恢复工作时间:真空室内测量的工作压力从1×105Pa至1×10-4Pa≤20min;
4. 压升率:0.8Pa/h(国标);
5. 工件架、烘烤:
1) 配电动上下升降水冷工件盘,水冷工件盘的温度可调可显示温度**到0.01度。
2) 工件旋转采用直流调速,转速连续可调。平板工件盘直径*大φ400。
3) 样品台与蒸发源位置可以在150-250mm之间电动随意调动。
4) 管状加热器烘烤,数显进口温控仪控温,*高温度1000℃,温度显示精度到0.01度。
6. 电阻蒸发:
配4组水冷蒸发电极,独立蒸发(可同时开启4组蒸发);
蒸发功率2.5KW/组;
蒸发电压5,10,20V;
蒸发电流500,250,125A。
蒸发挡板采用电动控制。
蒸发转换方式主要为电动方式,适合全自动操作。
采用手动控制盒控制蒸发。
7. 数显复合真空计;同时显示3个真空数值,一路高真空,两路低真空。
8. 真空系统控制:
1) 自动整机控制:采用可编程存储控制器并有打印镀膜数据功能,在彩色触摸屏上操作,设置运行程序实现自动控制镀膜全过程。
2) 彩色触摸屏:中文界面。
3) 程序储存:可以储存。满足设备使用。
4) 真空操作系统实现互锁保护,设备具有断水、断相、断气报警功能。
具体配置:
真空室工作室 500×500×680 1个
工件架 非标定制 1套
电阻蒸发 2.5KW 1台
数显复合真空计 ZDF5227II 1个
真空系统控制 非标定制 11个