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  • 产品名称：气相沉积系统CVD管式炉

  • 产品型号：CVD-OTF1500X-III-80*
  • 产品厂商：其它品牌
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CVD-OTF1500X-III-80*气相沉积系统CVD管式炉
详情介绍：

CVD-OTF1500X-III-80*气相沉积系统CVD管式炉   ￥145000


1：▲ *高温度：1500℃（＜1h） 2· 连续工作温度：1400℃ 3· 加热元件：掺钼铁铬铝合金 4· 升温速率：≤10℃/min · 热电偶：s 型 5· 加热区长度：不少余600mm（200mm+200mm+200mm） 6* 配置不少于1对 ss304 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 7▲真空系统• 208-240VAC, 单相, 50/60Hz，压力恒定控制系统 8• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)： 760mtor（r 100Pa）-----225tor（r 30000Pa）（按照进气量为 500sccm）； 600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为 300sccm） 300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为 100sccm） 180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为 50sccm） 9 压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）＞2.5torr-----10torr（±%40） ＞10 torr------200torr（±%5） 10；4炉供气系统，量程为甲烷20sccm、氢气100sccm、氩气1000sccm和备用500sccm氮气标定精度：±1.5%FS；线性：±(0.5～1.5)%F.S. 重复精度：±0.2%F.S 11；*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少5米 质保期 一年质保期，终身维护；质保期1年；


 配置：高温炉1台；测温偶3根；炉管1根；高温手套1副；管堵4个;炉钩L：1000mm 1把 ;;内六角扳手 M2.5 M3 M5各一把;法兰Φ80 1套 ，硅胶密封圈 内径Φ70,8个；炉管护套1副；说明书1本；质子系统1台；恒压控制系统 1台 。

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