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产品详情
简单介绍:
HP6加热板
详情介绍:
HP6加热板 ¥18800
1. 全阳极氧化铝机身结构,简约美观
2. 控温精度高,热均匀性好,实用性强
3. 加热输出独立电路控制,提高设备安
全性能
4. 可手动开关真空吸附基片,紧密接触
烤胶模式
5. 带热辐射式密封盖,硬质阳极氧化铝
加热面板
6. 加热结构沉入式设计,尺寸小巧,方
便放入手套箱
7. 加热面板尺寸:φ170mm 圆形
8. 控温范围:室温-250℃
9. 控温精度:±0.2℃(温度稳定后)
10. 温度均匀性:≤1%
11. 电源输入:220V,5A,800W
12. 适用基片尺寸:6 英寸以下晶圆
13. 真空接口:设备后板出口外径 6mm
14. 真空输入要求:0.04-0.09Mpa
真空泵:
1. 额定电压:220V,50Hz;
2.功率:220W
3.50l/min