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  • 产品名称:加热板

  • 产品型号:HP6
  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
HP6加热板
详情介绍:

HP6加热板   ¥18800


1. 全阳极氧化铝机身结构,简约美观 2. 控温精度高,热均匀性好,实用性强 3. 加热输出独立电路控制,提高设备安 全性能 4. 可手动开关真空吸附基片,紧密接触 烤胶模式 5. 带热辐射式密封盖,硬质阳极氧化铝 加热面板 6. 加热结构沉入式设计,尺寸小巧,方 便放入手套箱 7. 加热面板尺寸:φ170mm 圆形 8. 控温范围:室温-250℃ 9. 控温精度:±0.2℃(温度稳定后) 10. 温度均匀性:≤1% 11. 电源输入:220V,5A,800W 12. 适用基片尺寸:6 英寸以下晶圆 13. 真空接口:设备后板出口外径 6mm 14. 真空输入要求:0.04-0.09Mpa 真空泵: 1. 额定电压:220V,50Hz; 2.功率:220W 3.50l/min

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