产品名称：石墨生长及氯气刻蚀设备改造二次配

 序号

内容

品牌

说明

单位

数量

一、高压控制系统(新增备用气体)

1

流体控制盘面

Aerotech

备用气体（性质待定）高纯系统定制： **减压 独立吹扫系统 高压膜片截止阀 定制镜面板 核心部件SUS316L BA 超净盘面 高低压双表显示，单工艺进出口

台

1

2

高压盘管

Fi-Lok

SUS316L BA 6000psi洁净专用

个

2

3

钢瓶接头

Fi-Lok

SUS316L BA G5/8 -1/4" Welding

个

2

4

固定支架

Fi-Lok

实验室专用ABS钢瓶箍

个

2

5

Tube 管道

ZS-Metal

SUS316L BA 1/4"*0.89 Tube工艺管线

米

50

二、终端系统

A.1

终端流体盘面

Aerotech

SUS316L BA 二级减压阀 高精度压力表 膜片截止阀 定制镜面盘

台

2

A.2

主管截止阀

Aerotech

SUS316L EP 1/4"LOK 膜片阀

个

2

A.3

阻火器

Fi-Lok

SUS316L BA 1/4"回火逆止 易燃专用

个

2

A.4

BF接头

Fi-Lok

SUS316L BA 1/4"LOK

个

4

A.5

直接

Fi-Lok

SUS316L BA 1/4"LOK

个

6

A.6

三通

Unilok or Equal

SUS316L EP 1/4" 原主管对接

个

2

A.7

Tube 管道

CK/Aerotech

SUS316L EP 1/4"*T0.89 Tube工艺管线

米

90

B.Ar&备用惰性系统

B.1

终端流体盘面

Aerotech

SUS316L BA 二级减压阀 高精度压力表 截止阀 定制镜面盘

台

2

B.2

主管截止阀

Fi-Lok

SUS316 BA 1/4"LOK BV

个

2

B.3

直接

Fi-Lok

SUS316L BA 1/4"LOK

个

6

B.4

三通

Unilok or Equal

SUS316L EP 1/4" 原主管对接

个

2

B.5

Tube 管道

ZS-Metal

SUS316L BA 1/4"*T0.89 Tube工艺管线

米

90

C.Cl2毒腐系统

C.1

终端流体盘面

Fujikin

SUS316 EP 1/4"定制隔膜阀组 定制镜面盘

台

1

C.2

套管三通

ZS-Metal

SUS316 L 1/2"-*1/4"-1/2" 双套管三通 焊接

个

1

C.3

弯头

ZS-Metal

SUS316 L 1/2"-*1/4" 双套管弯头

个

5

C.4

滑套

ZS-Metal

SUS316 L 5/8" BA级 双套管滑套

个

8

C.5

收尾环

C&K orEqual

SUS316 L 1/2"-*1/4" EP级 双套管收尾环

个

2

C.6

弹簧支架

C&K orEqual

内外管线弯通 滑套链接处专用弹簧支架

个

20

C.7

膜片阀组

AR/FJ/Unilok

SUS316L *1/4" EP 级 MVCR 10K 外套管

个

1

C.8

负压表

NKS/BLD

SUS316L *1/4" EP 级 MVCR -30~160psi 外套管

个

1

C.9

Tube 管道

Kuze (日本全进口)

SUS316L EP 1/4" *0.89Tube工艺管线

米

100

C.10

Tube 管道

ZS-Metal

SUS316L BA 1/2" *1.2 外套管

米

100

三、泄露侦测系统

1

侦测器

Aegis

H2易燃易爆性系统0-100%LEL Ex IIC防爆等级 高清LED数码实时显示（带探头）

台

1

2

侦测器

Aegis

CH4易燃易爆性系统0-100%LEL Ex IIC防爆等级 高清LED数码实时显示（带探头）

台

1

3

侦测器

Aegis

O2环境系统0-25%VOL Ex IIC防爆等级 高清LED数码实时显示（带探头）

台

1

4

侦测器

Ansaike

毒腐Cl2系统0-10PPM Ex IIC防爆等级 高清LED数码实时显示（带探头）

台

1

5

控制箱

定制

定制 泄露报警控制 PLC人机交互界面 声光报警 双套管负压侦测 主动式EMO紧急制动

台

1

6

自动切断模块

Unilok or Equal

信号输入气动模块 H2/ CH4/Cl2系统自动切断 EP级

套

3

7

线缆

Local

RVVP1²*3芯 双绞屏蔽电源线 RVSP0.5²*4芯 双绞屏蔽信号线

批

1

四、尾气系统

1

Tube 管道

ZS-Metal

SUS316L BA 1/2" *1.2 设备尾气管线

米

50

2

阻火器

Fi-Lok

SUS316 BA 1/2"回火逆止 可燃性专用

个

1

3

BF接头

Fi-Lok

SUS316L BA 1/2"LOK

个

2

4

Tee

Fi-Lok

SUS316L BA 1/2"焊接正三通

批

2

5

变径

Fi-Lok

SS316L BA 1/4"-1/2"

批

3

五、洁净棚

1

洁净棚

原洁净室改造 走廊开门 透明洁净棚新建 3300*2200*1800 全时防爆风机排风 与走廊关联自然通风 过滤 独立照明 供电

套

1

2

盘面改造

H2 CH4盘面VCR五件套焊接 改造

批

1

3

管道支架

C型钢 镀锌烤漆防腐 特气系统专用

批

1

4

管码

Tube管专用管夹 绝缘垫片

批

1

5

防爆风机

配套排风 防爆风机 及配套PVC风管系统

套

1

6

辅材

Local

线路套管 固定螺丝支架 五金件 线耳 端子 管线标签

批

1