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  • 产品名称：高真空电阻热蒸发镀膜机

  • 产品型号：VZZ-300S
  • 产品厂商：其它品牌
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VZZ-300S高真空电阻热蒸发镀膜机
详情介绍：

VZZ-300S高真空电阻热蒸发镀膜机  ￥170000

净空间尺寸不小于Φ295×H400mm；主泵分子泵抽速不小于2000m3／h，双级旋片泵抽速不小30m3／h，主泵需采用国产或进口知名品牌，全量程数显复合真空计量程：1×105～1×10-5Pa；机械泵抽速需要注明分子泵、双级旋片泵品牌；真空极限10-8Torr；抽至2×10-6Torr≤15min；*大可处理基片不小于4英寸，均匀性不差于5%，基片台配有气动挡板，随设备提供一块掩膜板；基片台旋转且衬底水冷：旋转速度0-25转／分连续可调；不少于3组蒸发源，源间配隔离挡板，源上有独立挡板；蒸发电源功率不小于2.4KW，采用日本TDK品牌；采用进口品牌石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；测量频率范围1.0～6.5MHz，速率显示为0.1A／s，厚度分辨率±0.1A；不少于1个探头，10片6MHz原装晶振片；采用PLC手自动控制，触摸屏操作，采用西门子、三菱或者同等知名品牌；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～25℃，控温精度±0.1℃；整机免费保修期不少于2年，需原厂保修。交货后需提供技术培训。要求提供全新分子泵，机械泵，真空计，膜厚监控仪等出厂日期不能超过出厂日期三个月；交货期：合同签订后6周内 

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