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  • 产品名称：红外线液体成分浓度计

  • 产品型号：Chemicalyzer
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
Chemicalyzer系列红外线液体成分浓度计*适合用于半导体和液晶制造工序的清洗液、浸蚀液、抗蚀剥离液的浓度管理
详情介绍：


用途一览表

待测药液 适用药液类别
各种清洗液 SC-1,SC-2,SPM,IPA, 稀薄SC-2
浸蚀液 HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH
HF-HNO-Si,HF-HNO3-CH3COOH-Si
CMP液 CMP中H2O2,CMT中BTA
液晶浸蚀液 H3PO4-HNO3-CH3COOH, 铜-H2O2-酸
高浓度碱液 NaOH,KOH,KOH-活性剂
有机剥离液 MEA-BDG-水分-抗蚀剂
臭氧处理液 HF-臭氧,H2SO4-臭氧

类别一览表

利用形式 适用产品名称
联机型 ChemicAlyzer　ACEⅡ （超高性能型）
ChemicAlyzer　Pro-2　（标准型）
脱机手推车型 ChemicAlyzerⅡ
多槽测定控制型 ChemicAlyzer　 WORKS
混合型 ChemicAlyzer　 HB-20-A

基本规格

项目 ＡＣＥⅡ Pro-2 ChemicAlyzerⅡ WORKS HB-20
基本构成 测定部分・
数据处理部分 		一体型

測定部・

平板电脑架

測定部・

数据处理部分
显示 7波段显示器 LCD 7波段显示器
按键操作 有 触控面板 有
外部输入输出 PI/O、串行输出、模拟输出 选项 PI/O、串行输出、模拟输出
特点 高性能 标准性能 多条检量线 多槽测定控制 混合型高性能
其他 内置阀门 内置泵和阀门 内置泵和阀门 内置阀门

Chemicalyzer系列根据利用场景和待测药液，汇集了丰富齐全的产品种类


联机型

可以对制造半导体和液晶电视中经常使用的清洗液和浸蚀液进行高精度高速测定。

ChemicAlyzer ACEII （超高性能型）

增添了很多新技术，与本公司以往的机型相比，精度更上一层楼。*适合用于要求更高**测定精度的场合。

ChemicAlyzer Pro-2　（标准型）

虽然采用了数据处理部分与测定部分合为一体的小型化设计，但是也具有键盘和显示功能。



待测药液 适用药液类别
各种清洗液 SC-1,SC-2,SPM,IPA
浸蚀液 HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH
CMP液 CMP中H2O2,CMT中BTA
液晶浸蚀液 H3PO4-HNO3-CH3COOH


脱机手推车型

ChemicAlyzerII

*适合于由脱机测定各种处理工序的药液浓度变化的场合。除了心脏部分的Chemicalyzer之外，还内置了泵、阀门，因此，可以只需将管子插入槽内即可测定。此外，1台设备还可以测定多种药液。


待测药液 适用药液类别
各种清洗液 SC-1,SC-2,SPM,IPA
浸蚀液 HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH
液晶浸蚀液 H3PO4-HNO3-CH3COOH
高浓度碱液 NaOH,KOH,KOH-活性剂


多槽测定控制型

ChemicAlyzer　WORKS

1台设备可以连续、间歇地测定多个槽里的药液浓度。
除了对待测药液*符合的Chemicalyzer之外，还内置了泵、阀门、数据处理电脑，可以一边切换多个槽一边自动测定。还可以控制浓度。


待测药液 适用药液类别
各种清洗液 SC-1,SC-2,SPM,IPA
浸蚀液 HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH
有机剥离液 MEA-BDG-水分-抗蚀剂
液晶浸蚀液 H3PO4-HNO3-CH3COOH
高浓度碱液 NaOH,KOH,KOH-活性剂


混合型

ChemicAlyzer　HB-20-A

可以用1台设备进行红外光加可见光、红外光加紫外光的组合测定。
据此，就可以在保持高精度测定的同时，应对范围广泛的待测药液。


待测药液 适用药液类别
各种清洗液 希薄SC-2
浸蚀液 HF-HNO-Si,,HF-HNO3-CH3COOH-Si
液晶浸蚀液 铜-H2O2-酸
有机剥离液 MEA-BDG-水分-抗蚀剂
臭氧处理液 HF-臭氧,H2SO4-臭氧

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