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  • 产品名称：6"等离子清洗机EQ-PDC-001

  • 产品型号：EQ-PDC-001
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
6"等离子清洗机EQ-PDC-001 EQ-PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机，其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗，同时可以向腔体通入不同的气体（如氧气和惰性气体等），从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理，此款设备极为理想。
详情介绍：

6"等离子清洗机EQ-PDC-001
EQ-PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机，其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗，同时可以向腔体通入不同的气体（如氧气和惰性气体等），从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理，此款设备极为理想。

 
   
 技术参数
 

输入 
功率
 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 
输出
频率
 13.56 MHz
 
  功
  率
●低档716V DC 10 mA DC 7.2 W 
●中档720V DC 15 mA DC 10.5W 
●**740V DC 40 mA DC 30 W 
等离子腔体 
 
尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔体
   真
   空
   泵
   和
   阀
●仪器中包括有一双极旋片泵，2XZ-2，抽气速率为2L/s, 
●泵上安装有一个不锈钢针阀，其接口为宝塔嘴接头
 
通入的气体 
腔体中可以通入多种气体，如N2, Ar, Air ，也可以通入多种混合气体，以满足实验需要 ，不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中
 
可选
配件
●如果基片的直径为2"和4"，可以选购石英架，每个石英架上可以放25片
●数字式真空显示计，可以**显示石英腔体内的真空度
 
外型
尺寸
11" H x 18" W x 9" D 


细节图（点
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质保期
一年质保  ( 不包括石英腔体和密封圈) 
质量
认证
  CE Certified

 
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