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产品详情
简单介绍:
EQ-PDC-32G微型台式等离子清洁仪
这款离子清洁仪可利用空气、氧气或氩等离子来**玻璃、半导体、高分子材料、 金属基座的表面纳米有机污染物,在高射频(RF)功率的情况下的*大有机物去除率约为10nm/min 。对材料进行涂覆镀膜前,使用本等离子清洁仪对单晶基片进行清洁能获取更好的效果。
详情介绍:
产品型号:
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PDC-32G微型台式等离子清洁仪(带真空泵)EQ-PDC-32G微型台式等离子清洁仪
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产品简介:
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EQ-PDC-32G是微型台式等离子清洁仪,这款离子清洁仪可利用空气、氧气或氩等离子来**玻璃、半导体、高分子材料、金属基座的表面纳米有机污染物,在高射频(RF)功率的情况下的*大有机物去除率约为10nm/min 。对材料进行涂覆镀膜前,使用本等离子清洁仪对单晶基片进行清洁能获取更好的效果。
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主要特点:
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外型美观精巧
可调节射频功率(高、中、低)
操作**,成本低廉,对人类和环境无害
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技术参数:
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输入电源:115V AC ,50/60 Hz;或 230V AC, 50/60 Hz, ﹤ 200W
输出频率:13.56 MHz
等离子发射频率:三种可调输出电压:
低 680V DC 10mA DC 6.8W
中 700V DC 15mA DC 10.5W
高 720V DC 25mA DC 18 W
等离子舱体:76mm(直径)x 165mm(长) 硼硅酸玻璃舱体可拆卸式前盖
真空泵与控制阀门:双极旋片真空泵 (110V, 226 L/m) 带过滤器和KF-D25闸口----配有KFD25接头, 600mm长不锈钢管与高质量的过滤器
*大终端压力为30 mTorr或更小
1/8" NPT 针型阀门有效控制气体的流动和舱体内的压力
1/8" NPT 三通阀门以便放散气体, 舱体隔离及泄气状态的转换
惰性气体:根据所需清洗的污染物可选择采用N2, Ar, Air 和混合气体
注意不能使用可燃性气体
保修期:一年 (不含硼硅酸玻璃舱体)
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产品规格:
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规格:216mm(H) x 254mm(W) x 203mm(D)
净重:6.5 kg (不带真空泵)14.0 kg(带真空泵)
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标准配件:
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可选配件:
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若使用2"晶体石英舟,这种清洁仪能一次处理25个直径2"的晶体;
数码真空计量器,用于**调控舱体压力
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