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  • 产品名称：EQ-PDC-32G微型台式等离子清洁仪

  • 产品型号：EQ-PDC-32G
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
EQ-PDC-32G微型台式等离子清洁仪 这款离子清洁仪可利用空气、氧气或氩等离子来**玻璃、半导体、高分子材料、 金属基座的表面纳米有机污染物，在高射频（RF）功率的情况下的*大有机物去除率约为10nm/min 。对材料进行涂覆镀膜前,使用本等离子清洁仪对单晶基片进行清洁能获取更好的效果。
详情介绍：
产品型号：
PDC-32G微型台式等离子清洁仪（带真空泵）EQ-PDC-32G微型台式等离子清洁仪
产品简介：
EQ-PDC-32G是微型台式等离子清洁仪，这款离子清洁仪可利用空气、氧气或氩等离子来**玻璃、半导体、高分子材料、金属基座的表面纳米有机污染物，在高射频（RF）功率的情况下的*大有机物去除率约为10nm/min 。对材料进行涂覆镀膜前,使用本等离子清洁仪对单晶基片进行清洁能获取更好的效果。
主要特点：
外型美观精巧
可调节射频功率(高、中、低)
操作**,成本低廉,对人类和环境无害
技术参数：
输入电源：115V AC ,50/60 Hz；或 230V AC, 50/60 Hz, ﹤ 200W
输出频率：13.56 MHz
等离子发射频率：三种可调输出电压:
       低    680V DC 10mA DC       6.8W
       中    700V DC 15mA DC       10.5W
       高    720V DC 25mA DC       18 W
等离子舱体：76mm(直径)x 165mm(长) 硼硅酸玻璃舱体可拆卸式前盖
真空泵与控制阀门：双极旋片真空泵 (110V, 226 L/m) 带过滤器和KF-D25闸口----配有KFD25接头, 600mm长不锈钢管与高质量的过滤器
*大终端压力为30 mTorr或更小
1/8" NPT 针型阀门有效控制气体的流动和舱体内的压力
1/8" NPT 三通阀门以便放散气体, 舱体隔离及泄气状态的转换
惰性气体：根据所需清洗的污染物可选择采用N2, Ar, Air 和混合气体
注意不能使用可燃性气体
 
 
保修期：一年  (不含硼硅酸玻璃舱体)
产品规格：
规格：216mm(H) x 254mm(W) x 203mm(D) 
净重：6.5 kg （不带真空泵）14.0 kg（带真空泵）
标准配件：
 
可选配件：
若使用2"晶体石英舟,这种清洁仪能一次处理25个直径2"的晶体；
数码真空计量器，用于**调控舱体压力
 
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