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  • 产品名称：双管滑动式1200℃四通道混气CVD系统- OTF -1200X-4- C4LVS

  • 产品型号：OTF-1200X-4-C4LVS
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
双管滑动式1200℃四通道混气CVD系统- OTF -1200X-4- C4LVS OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。
详情介绍：
OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。 
  
特点:  
 双管滑动式1200℃四通道混气CVD系统- OTF -1200X-4- C4LVS
双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径 80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。2.双管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内 管             
3.四通道质量流量计控制4路气体。
4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。      
5.炉子底部装有滑轨：炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温.
技术参数
 
炉体
结构
·                                 高纯 Al2O3保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性.
·                                 炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.
·                                 密封法兰系统全不锈钢制作。
电源
电源:208-240VAC,  50/60Hz, 单相,  2.5KW ( 20A 保险丝)
加热
温度
*高温度: 1100°C
连续温度: 1000°C
加热区
加热区长度: 440mm
恒温区长度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
选择:   
双温区炉可获得t 240mm 的恒温区
 
 
加热
  和
冷却
速度
*快的加热和冷却速度跟工作温度有关， 请点击下图可以看出*快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。
 ( 在使用炉子之前，要校准工作温度和加热、冷却速度 )
 
加热

                        冷却
石英管
外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm
内管:     OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1500 mm )
真空
法兰
·                                 一对 SS304不锈钢法兰，通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。
·                                 炉子底部装有一对滑轨
·                                 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。
·                                 为了得到较快的加热速度，可以先将炉子预热，然后滑到放置样品的位置。
·                                 为了获得较快的冷却的速度，把炉子滑向另一端，同时将冷却气体通入样品所在的位置。
左法兰(点击放大)
右法兰 (点击方大)
   
极限真空度: 10^-2 torr (机械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)
温控仪
·                                 温控仪:带超温保护和PID调节的 30 段程序控制。
·                                 控温精度: +/-1°C
混气
系统
4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制.
·                                 MFC 1范围:  0~100 sccm
·                                 MFC 2范围:  0~200 sccm
·                                 MFC 3范围:  0~200 sccm
·                                 MFC 4范围:  0~500 sccm
气路: 4 路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4" 卡套
一个混气罐.
每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。  
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量. 请看下图
MFC 面板(点击放大)
真空泵
·                                 安装在移动架底部的机械泵，真空度达 10-3 Torr.
·                                 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 .
·                                 数字真空表安装在一端的法兰上.
·                                  
选择: 可以配分子泵，真空度达 10-5 Torr     
作为基片用的25um厚的
铜箔 
(选配）
 
生长石墨烯的铜箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸（mm)
炉体: 550 x 380 x 520
移动架: 600x600x597
净重
300 lb
保修期
一年质保期 (耗材：如炉管，“O”型圈，和加热元件等不在保修范围内）
认证
 CE 认证
 
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