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  • 产品名称：INSTEC 电学探针台 & 热卡盘

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INSTEC 电学探针台 & 热卡盘---精密温控 · 真空/气氛控制 · DC~RF探针测试 · 霍尔效应系统
详情介绍：


🔌 INSTEC 电学探针台 & 热卡盘

精密温控 · 真空/气氛控制 · DC~RF探针测试 · 霍尔效应系统

美国INSTEC公司 – 专注精准温控探针测试40年 | 支持-190℃ ~ 1500℃ 超宽温区探针解决方案

🏢 关于INSTEC · 电学探针测试专家
INSTEC成立于1984年，总部位于美国科罗拉多州博尔德，是全球**的科学仪器制造商，专注于精密温控与电学探针测试技术。提供从微型探针台、模块化探针站、**探针台到霍尔效应系统、热卡盘的全系列产品，支持-190℃超低温至1500℃高温的极端环境，并具备真空/惰性气体控制、DC/RF探针、高电压/低泄漏电流测量等先进能力。所有产品支持深度定制，广泛应用于半导体、宽禁带材料、MEMS、OLED、电池研究及大学科研。
🌡️ 温控范围 -190℃ ~ 1500℃⚡ DC/RF探针 (50GHz+)🧪 真空/气氛控制 (高真空可选)🛠️ 模块化设计 / 全定制方案📊 霍尔效应测试系统 (集成Lakeshore)💎 热卡盘 / 自动探针卡盘 (8"/12")
📌 PM系列 微型探针台 | 紧凑型温控探针测试单元
PM系列是紧凑型一体化探针测试单元，集成了电学探针、精密温控、光学窗口及密封气氛控制。可提供4或6个手动悬臂探针，支持样品温度-190℃~600℃/1000℃，TEC选型可实现-40℃~150℃无低温介质控温。非常适合显微镜、电磁铁或光谱仪集成。型号包括HCP621G-PM、HCP421V-PM、TP102V-PM、HP1000V-PM及P025-PM等。
系列/型号 温控范围 控温精度/稳定性 样品区/探针数 光学窗口/工作距离 气氛等级 冷却方式
HCP621G-PM(H) -190℃ ~ 600℃ ±0.05℃ (>25℃) 26mm六角区 / 4x或6x探针 Ø18mm窗口, WD≥8mm 气体吹扫/粗真空 液氮循环
HCP421V-PM(H) -190℃ ~ 400℃ ±0.05℃ (>25℃) 42x38mm / 4x探针 Ø18mm窗口, WD 8mm 低真空 ≤10⁻³mBar 液氮循环
TP102V-PM -30℃ ~ 120℃ (可扩展-40~150℃+) ±0.05℃ 25x38mm / 4x探针 Ø45mm窗口, WD 9.5mm 气体吹扫/粗真空 TEC热电(无水冷剂)
HP1000V-PM 室温 ~ 1000℃ ±1℃ 25x25mm / 4x探针 Ø38mm窗口, WD 9.5mm 低真空/吹扫 主动冷却无, 水冷框架
P025-PM 无源 (仅环境) N/A 50x50mm / 4~8x探针 直视, 0mm WD 气体吹扫 无
✅ 所有PM系列均可升级为“+”型号实现更多定制：额外馈通、SMA/三同轴连接、浮动偏置等。HCP系列采用银质热块，导热**。
🔧 MP / MPS 模块化探针台 | 更大样品·精密探针控制
MP系列(弹簧探针)和MPS系列(独立XYZ微调探针臂)提供更灵活的配置，支持50x50mm样品区，MPS系列可在密封腔内移动探针(10mm行程)。温控核心可选HCP(-190~600℃)、TP(TEC -40~150℃)及HP(1000℃)。可定制透射光路、多探针(*高8+)、RF探针、三同轴等。非常适合器件表征与多种环境测试。
型号 (MP/S) 温控选型 样品区 探针类型 窗口/工作距离 真空等级 特点
HCP621G-MP(S) -190~600℃ Ø26mm六角 / 50x50mm MP:手动弹簧探针; MPS:XYZ微调(10mm行程) Ø50mm窗口, WD 12mm 低真空 ≤10⁻³mBar (高真空选配) 银热块, 水冷框架
HCP421V-MP(S) -190~400℃ 50x50mm 同上 Ø50mm窗口, WD 12mm 低真空/高真空可选 银热块, 抗腐蚀
TP102V-MP(S) -30~120℃ (-40~150℃+) 40x40mm 同上, 支持MPS精密臂 Ø45mm窗口, WD 12mm 低真空 TEC加热/冷却, 无水冷剂
HP1000V-MP(S) RT ~ 1000℃ 25x25mm MP/S支持高温探针 Ø50mm窗口, WD 12mm 低真空/吹扫 碳化硅加热元件, 水冷框架
⭐ MPS系列优势：腔体密封状态下独立调节探针XYZ(分辨率20μm)，适合微小焊盘(*小250μm×250μm)及多点测试。
🚀 PS系列 **探针台 | 大样品·RF探针·全环境控制
PS系列为全尺寸高真空探针台，支持深腔体、电动样品台、高真空及50GHz RF探针。HCP/TP/HP温控核心可选，可容纳*大150x150mm样品，提供电机驱动XYZθ样品移动和顶置RF探针臂。PS+型号标配双视场相机系统，支持高精度探针落点。适合晶圆级测试、RF器件、宽禁带功率器件研究。
📷 双视场相机系统⚡ 50GHz+ RF探针 (水冷高温探针可选)🌀 4轴电动样品移动 (XYZθ)🧊 真空度 ≤9.9e-3mBar (高真空可选)
基础型号 温控核心 样品区/移动方式 探针类型 *高真空 光学/特殊
HCP421V-PS+ -190℃ ~ 400℃ *大100x100mm / 手动或电动XYZθ DC / RF (≤50GHz) ≤9.9e-3mBar 双视场相机, 大窗口
TP102V-PS+ -40℃ ~ 150℃+ *大150x150mm / 可选电机 DC / 低噪声探针 ≤9.9e-3mBar TEC无LN2, 高均匀性
HP1000V-PS+ RT ~ 1000℃ (高温RF探针) 25x25mm ~ 50x50mm 高温RF探针(600℃+), DC 低真空/高真空可选 碳化硅加热, 水冷探针可选
🧲 H91 温控霍尔效应系统 | 集成Lakeshore M91 FastHall
将INSTEC精密温控探针台与Lakeshore M91 FastHall控制器结合，实现宽温区(-190℃~1000℃)霍尔效应测量。可提供永磁体(0.5T)或电磁铁(0.5T~1.5T+)磁场，搭配MeasureLINK软件实现温度-磁场-电学同步测量。标准配置包括4或6个三同轴探针，支持高阻HR选件(*高200GΩ)。
测试单元 温控范围 磁场选项 探针数/连接 配套控制器 软件/特性
H91-Gyz (HCP621G-PMH) -190℃ ~ 600℃ H91-x0:无, x1:0.5T永磁, x2/x3:0.5T/1.5T+电磁铁 4/6 Triax BNC M91 FastHall (标准/HR高阻) MeasureLINK插件, 自动温度斜坡
H91-Vyz (HCP421V-MPH) -190℃ ~ 400℃ (真空) 同上磁体选配 4/6 Triax M91 / HR选件 真空环境霍尔测量
H91-HTyz (HP1000V-MPH) RT ~ 1000℃ 永磁或电磁铁 4 Triax M91 / HR 高温霍尔, 碳化硅热台
🔍 H91系统特别适用于半导体、化合物材料及磁学特性随温度变化的研究，支持电阻率、迁移率、载流子浓度等参数。
🔥 热卡盘系列 | 晶圆/平面样品精密温控 · 真空吸附
提供方形/圆形热卡盘，HCC系列(电阻加热+液氮冷却)温区-190℃~600℃，TC系列(TEC热电)温区-30℃~120℃(可升级150℃)。可选接地或浮动偏置，表面镀层(Ni/Au等)，真空吸附沟槽。同时提供APC系列全自动探针卡盘(8"/12")，采用压缩干空气冷却(CDA)，温区-65℃~300℃，高平整度(<3μm)，低泄漏电流(1pA级)，支持10kV高压型号。
📊 代表性Benchtop热卡盘规格
型号 (方型) 温控类型 温控范围 样品区 (mm) 稳定度 真空吸附 偏置选项
HCC602S 加热+LN2冷却 -190℃ ~ 600℃ 50×50 ±0.05℃ 单区 GND/浮动/三同轴
HCC212/312S 同上 -190℃ ~ 200/300℃ 100×100 ±0.05℃ 单区 可选浮动
TC104 TEC热电 -30℃ ~ 90℃ (120℃升级) 100×100 ±0.05℃ 单区 GND/浮动可选
TC108 TEC -30℃ ~ 90℃ 200×200 ±0.05℃ 多区可选 浮动/BNC
⚙️ APC系列 自动化探针卡盘 (8"/12")
型号 温控范围 尺寸/平整度 泄漏电流 *大电压 真空吸附区布局 加热/冷却速率
STCS-APC (标准) -65℃ ~ +300℃ 8"/12", 平面度<3μm <100pA @25℃ 500V 圆形沟槽/点阵 升温25→200℃<25min
LNCS-APC (低噪声) -65℃ ~ +300℃ 同上, 三同轴结构 <1pA @25℃ 500V 多区真空点阵 降温速率高
HVCS-APC (高压) -65℃ ~ +300℃ 12" 兼容10kV <5pA@25℃@3000V 10kV 多区真空 适合高压器件测试
💡 APC系列采用压缩干空气(CDA)冷却，无需液氮，适合洁净室自动化集成；支持定制顶针、浮动表面及特殊镀层。
🔩 特殊探针工具 & 全定制服务
🔹 磁性光学面包板+外置XYZ探针： 为P02S-PM或小型热卡盘增加微调探针能力，支持电机驱动模块。
🔹 P02S-PM-XYZ4： 结合便携性与精密探针座，支持4个微调探针，*小焊盘50μm，适用于光学平台。
🔹 全定制项目： INSTEC提供从-190℃至1500℃、超高真空(5e-5 mBar)、高压(10kV+)、多探针卡、PCB馈通、特殊样品架等完全定制服务，已有硬币电池测试台、1200℃探针台、8英寸SiC卡盘等成功案例。
🧰 附件与配套仪器
✔ PSM系列分析探针台 (SM-2/4/6) 配合热卡盘使用，提供磁力底座及微操纵器，行程12x12x12mm，分辨率*高0.7μm。
✔ PSM-VP1/VP4 真空吸附泵：单区/多区独立控制，用于固定样品。
✔ Lakeshore M81 SMU：同步源测单元，支持DC~100kHz，低电平测量。
✔ 温控器：mK2000B (0.01℃分辨率)，可选LVDC低噪声型号。
✔ 冷却系统：液氮冷却器、循环水冷机、CDA压缩空气冷却系统。
PSM SM-4 探针台VP4多区真空泵M81 同步源测单元mK2000B温控器
📍 INSTEC Inc. – 美国博尔德总部 | 全球技术支持 & 定制销售
🌐 www.micaren.com | 📧 micaren@188.com | 专业工程师团队提供快速选型及售后支持
⚡ 本资料涵盖PM/MP/MPS/PS/H91/热卡盘/APC系列，所有规格可能优化升级，请以官方*新版本为准。如需详细图纸或定制报价，即刻联系INSTEC技术销售。

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