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  • 产品名称：射频真空等离子清洗机

  • 产品型号：CSCPIA305
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
CSCPIA305射频真空等离子清洗机
详情介绍：

CSCPIA305射频真空等离子清洗机  ￥76500


1、腔体材质：石英腔体
2、电源功率：0-300W可调
3、电源频率：13.56MHz
4、频率偏移量：小于0.2KHZ
5、特性阻抗：50欧姆，自动匹配
6、真空度：1pa-30pa 真空泵抽速：4L/S
7、气体流量10-100ml/min（可调）
8、气体路数：高精密双路浮子流量计
9、过程控制：全自动控制与手动（PLC 人机界面）
10、清洗时间：1-60000s可调
11、功率大小：10%-100% 可调
12、腔体尺寸：Φ150×270mm
13、真空室温度：＜30℃

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