产品名称：高真空电阻蒸发镀膜

高真空电阻蒸发镀膜  ￥267000

1.蒸镀腔体：SUS304 不锈钢，L×W×H：400×400×500mm（净尺寸）；真空室内表面及防污板等抛光至镜面；结构：方形，前后开门；顶部装配基片台、基片台挡板、膜厚仪探头、真空照明；底部装配蒸发源；主抽气口位于腔室底部正中心位置。
2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵，超高真空气动插板阀；“两低一高”数显复合真空计，型号：ZDF-5227B，测量范围：1×105～1×10-5Pa；
3.真空极限：优于 2.5×10-5Pa（1.9×10-7Torr）；抽速：分子泵完全启动，抽至 3.0×10-4Pa≤15min；分子泵：型号 FF-200/1200，进气口法兰 CF200，抽气速率：1200L/s；机械泵：型号 TRP-36，进气口法兰 KF40，抽气速率：9L/s；高真空测量规管采用贵金属氧化物阴极，具有抗氧化，耐瞬时大气冲击的特点，性能稳定，寿命长，规管灵敏度：0.15±15%Pa-1。
4.基片台：抽屉式结构，基片托尺寸：120×120mm，该范围内可装卡各种规格的样品/基片；样品台配有气动挡板，磁流体密封；样品台旋转：旋转速度 0-25 转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，设定在前门中心位置方便取样；样品掩膜：提供一块掩膜板
5.蒸发源：安装 4 组蒸发源；各源均有水冷且独立，可蒸镀金属材料（舟式源/挂丝源）和有机材料（坩埚源/盒式源） 6.蒸发电源：1 台 2.2KW 蒸发电源，可采用恒流/恒功率控制，可以预设工作电流；
7.膜厚监控：采用 Inficon 薄膜沉积监控仪（型号：SQM-160）在线监测、控制膜厚，1 只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.1Ā/s，厚度显示分辨率±0.1Ā；
8.操控系统：PLC 手自动控制，触摸屏操作；
9.报警保护 缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、防误操作保护等。
10.主阀采用超高真空气动插板阀(CCQ-200)； 预抽阀、前级阀采用高真空气动挡板阀（GDQ-J40），预抽阀和前级阀智能互锁；放气阀采用电磁截止阀（DJ2C-6），可与手套箱连接；
11.备品备件清单：钨舟 20 个；钼舟 20 个；有机源坩埚 6 个；高纯铝颗粒 30 克；高纯镍颗粒 30 克；高纯铬颗粒 30 克；高纯铜颗粒 30 克；石英晶振片 10 只；CF35 铜垫圈 3 个；设备上相应规格密封圈 1 批；内六角工具 1 套，螺丝 1 批
12.安装需求：需要与手套箱厂家沟通，配合安装于手套箱内 。