产品详情
查看大图

  • 产品名称：光学膜厚仪

  • 产品型号：FR-Scanner AllInOne RED/NIR
  • 产品厂商：其它品牌
  • 产品价格：0
  • 折扣价格：0
  • 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍：
FR-Scanner AllInOne RED/NIR光学膜厚仪
详情介绍：

ThetaMetrisis FR-Scanner AllInOne RED/NIR 光学膜厚仪   ￥446500


1.设备用途：
透明或半透明的镀层厚度测量及Mapping测绘

2.设备性能：
1）设备配置有用于控制和显示的*新操作系统的电脑及显示器；
2) 设备手动上下片，可实现一键多点自动测量；
3) 设备有自动找点功能,软件上指定坐标，stage平台能够自动把该点送到测量区域；
4)设备能够对测量数据进行分析，输出包括*大值，*小值，平均值，均匀性，拟合度等信息，并形成2D和3D彩色Mapping图，2D与3D呈现方式体现反射率、厚度、折射率的测量结果；
5）设备带有**设备参数分析软件可对单层或多层的膜层厚度进行测量和分析，能够进行自动Mapping测量设置，具有工艺程序编辑功能；

3.规格:
项目技术参数
3.1 测量厚度600nm~300um
3.2 波长范围600-850nm
3.3 产品测量尺寸*大300mm 晶圆
3.4 测量精度0.2%或25nm（取大者）
3.5 测量速度每测绘2 点1 秒以内完成
3.6 Mapping 测绘自动生成Mapping 图，可以设置点密度
可根据需要进行参数设定以生成圆形、矩形等分布图
2D、3D Mapping 显示
3.7 光源卤素灯，理论使用寿命2000 小时
*赠送备品卤素灯1 个

具体配置：
1 主机1 台
2 测量光纤1 个
3 SiO2 膜在Si 片标准片1 个
4 硅参考片1 个
5 氮化硅膜&SiO2 膜在Si 片标准片1 个
6 备用灯泡1 个
7 样品夹具（本地送货） 1 个
8 设备配套外罩（本地送货） 1 套
9 设备配套电脑及显示器（本地送货） 1 套

标题：
内容：
联系人：
联系电话：
Email：
公司名称：
联系地址：
 
 
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!