产品名称：紫外臭氧清洗机

UVO5T紫外臭氧清洗机  ￥36600

紫外臭氧清洗机（UVOzone Cleaner, UVO），是简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）表面上的有机污染物。机子采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选配加热控温功能，以达到樶佳清洗效果。

产品特点：
 采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。
 自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
 数字倒 计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
 可随时手动中断处理过程。
 自动记录之前清洗参数设置。
 样品台可控温（可选），控温范围RT-260℃，控温精度0.1℃。
 顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。
 上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。
 样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，并可锁定。
 UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。
 高强度UV灯源，波长185nm和254nm。
 UV反射罩（长x宽）比UV格栅灯大2.5cm，比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
 双重安 全保护，当清洗腔打开时，系统安 全锁会关掉UV灯，并有灯光通断提示。
 带进&出气口双气路设计，可接入氧气或者臭氧，增加臭氧产量。
 可选外置臭氧中和器,用于臭氧清 除。
 可根据用户要求定制铝或石英材料真空反应腔。

1、 UV灯尺寸：13x13cm
2、 样品台高度：5cm内可调
3、 样品台控温范围：RT-220℃，控温精度：0.1℃
4、 进气、出气口双气路设计
5、 高强度UV灯源、波长185nm、254nm

6、 主机重量6kg，外型尺寸（LxWxH）31x26x20cm