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  • 产品名称：氯气处理设备

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简单介绍：
氯气处理设备
详情介绍：

氯气处理设备   ￥350000


1、炉子采用开启式结构，管径为6cm。*高加热温度1400℃或者以上，能在温度1300℃长期连续工作（单次>120h）；
2、炉子加热温区300-500mm，恒温区大于150mm；
3、真空极限≤1pa，漏率10h≤60pa；
4、气路接头需要采用VCR接头，法兰和气柜气路均用316EP材质；
5、采用四路质子流量控制系统：甲烷（0~20sccm）、氢气（0~200sccm）、氯气 (0~200sccm)和氩气(0~1000sccm)；
6、氯气需要单独一路，采用专门的防腐流量计；
7、气路管道需要具有自动吹扫功能，工艺完毕需要对氯气管道进行吹扫；
8、气柜通风和配备三个探测器（甲烷、氢气和氯气），泄露自动切断和报警功能（探测器需要从这些品牌中进行三选一：霍尼韦尔（美国）、 新宇宙（日本）、理研（日本））；
9、实现氢气和氯气互锁，甲烷和氯气互锁功能；
10、对于工艺中产生的粉尘，在下游管道中采用过滤器进行有效地集中收集；
11、需要配备真空和恒压系统；
12、炉管具有过压保护；
13、需要配备水冷法兰和水冷机；
14、管堵需要采用不掉渣的致密刚玉管堵或者光滑石英管堵；
15、备用件一套，包括：下游法兰、下游气路管、过滤器、管堵和刚玉管。

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