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  • 产品名称：精密力传感器系统

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简单介绍：
精密力传感器系统
详情介绍：

精密力传感器系统   ￥220000


1、高速扫描平台：
运动行程: 13um 传感器分辨率: 0.1nm（10Hz）
谐振频率: >3000Hz (无负载)
开环震动速度: >300Hz *高采样频率: 2.4kHz
2、精密力传感器：
测量范围: 0.4N
测量分辨率: 1.5uN @10Hz 谐振频率：>200Hz 探头可加电：<10V、 <0.1A
3、XYZ宏动平台
运动行程: XY 30mm, Z 20mm 开环运动分辨率: 1nm 闭环运动分辨率: 5nm
Z负载: 3N
XY推力: 2N
XY*大速度: 2mm/s(无负载)
支持二次开发

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